本發(fā)明涉及真空泵、射頻、真空計、定時器、浮子流量計、綠色電源指示燈、帶燈蜂鳴器、電源調(diào)節(jié)器、排氣按鈕(自鎖)、氣體旋鈕(自鎖)、開關(guān)(自鎖)、開關(guān)(自鎖)、真空泵按鈕(自鎖)、主電源旋鈕開關(guān)。由于按鍵式真空等離子清洗機的結(jié)構(gòu)和運行方式,附著力促進劑的含義也決定了它的一些缺點。由于觸點采用導線連接,極易發(fā)生故障,可靠性低,維修難度大。
等離子清洗機的歷史由于近年來,油漆附著力促進劑的缺點市場對品質(zhì)的要求日益苛刻,同時國際上對環(huán)保的要求越來越嚴格,我國的很多高密度的清洗工業(yè)面臨了嚴峻的挑戰(zhàn),可以說是一次全新的革命,面對前所未有過的局勢,作為代替品出現(xiàn)的一些氯代烴清洗劑、水基清洗劑和碳氫溶劑,由于分別具有毒性、水處理繁瑣、清洗效果較差以及不易干燥、安全性較差等缺點阻礙了國內(nèi)清洗工業(yè)的發(fā)展。
本發(fā)明涉及真空泵、RF、真空計、定時器、浮子流量計、綠色電源指示燈、帶燈蜂鳴器、電源調(diào)節(jié)器、排氣按鈕(帶自鎖)、氣體旋鈕(帶自鎖)、開關(guān)島帶自鎖(帶自鎖)、帶自鎖開關(guān)等按鈕(帶自鎖)、真空泵按鈕(帶自鎖)、主電源旋鈕開關(guān)。按鈕式真空吸塵器的結(jié)構(gòu)和操作方式也發(fā)現(xiàn)了一些缺點。由于觸點之間的布線連接,附著力促進劑的含義容易擊穿,可靠性低,維護困難。所有繼電器組件都是獨立的組件。
等離子清洗/刻蝕機產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個電極形成電場,油漆附著力促進劑的缺點用真空泵實現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長,受電場作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵,在任(何)暴露的表面引起化學反應,不同氣體的等離子體具有不同的化學性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性,能氧化光刻膠反應生成氣體,從而達到清洗的效(果);腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性,這樣就能滿足刻蝕的需要。
油漆附著力促進劑的缺點
常壓等離子清洗機設(shè)備的核心部件包括等離子發(fā)生器和負載,即所謂的電源和電極。。真空等離子清洗技術(shù)不區(qū)分被處理物體的基材類型。整個過程依靠真空等離子等離子體在電磁場中穿過空間,撞擊被加工物體的表面。為了實現(xiàn)表面處理、清洗和蝕刻的效果(清洗過程在某種程度上是一種輕微的蝕刻過程),清洗后將汽化的污垢和清洗氣體排出,將空氣送入真空室,正常大氣壓應用。在低壓真空等離子體技術(shù)中,真空中的氣體通過提供能量而被激發(fā)。
還有的情況是,自由基與物體表面的分子結(jié)合時,會釋放出大量的結(jié)合能,而結(jié)合能又成為引發(fā)新的表面反應的驅(qū)動力,從而引發(fā)物體表面物質(zhì)的化學反應而被清除。電子與物體表面的相互作用電子對物體表面的撞擊,一方面可以促進吸附在物體表面的氣體分子分解或解吸;另一方面,大量的電子撞擊有利于引發(fā)化學反應。由于電子的質(zhì)量極小,它們的運動速度比離子快得多。
在優(yōu)選條件下,汽體清潔流程的工序參數(shù)設(shè)置為:腔室壓力10-20ml,工序氣體流量 -300sccm,時間1-5s;汽體清潔流程的工序參數(shù)設(shè)置為:腔室壓力10-20ml托,流程氣體流量 -300sccm,時間1.Ss。盡量將汽體清潔流程的工序參數(shù)設(shè)置為:腔室壓力15毫托,工序氣體流量300時間3秒;啟輝流程的工出參數(shù)設(shè)置為:室壓15毫托,上電極功率300毫托,時間3秒。。
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